Modernizarea și automatizarea instalației de tratare termică utilizată în procesul de litografie optică

Abstract

Scopul lucrării constă în modernizarea instalației existente în cadrul Departamentului Microelectronică și Inginerie Biomedicală, Facultatea Calculatoare, Informatică și Microelectronică a Universității Tehnice a Moldovei, care are ca scop procesul de uscare a fotorezistului de pe substratul utilizat. Noutatatea și originalitatea se bazează în crearea unui dispozitiv eficient energetic, care va dispune de diferite posibilități adiționale ce ar digitaliza acest proces tehnologic printre care se numără și controlul acestuia din interfață grafică de pe un calculator. Valoarea aplicativă descrie etapele tehnologice ale proiectării unui dispozitiv, evidențiind procesul elaborat de realizare a plăcuței cu cablaj imprimat pentru componente mecanice și electrice, precum și detaliind proiectarea carcasei și dezvoltarea software-ului asociat. Deasemenea aceasta implică verificarea componentelor și etapele de asamblare ale dispozitivului pe componente individuale, urmate de detalierea testelor efectuate pentru a confirma buna funcționare a acestuia și prezentarea rezultatului final.

The purpose of the work is to modernize the existing facility within the Department of Microelectronics and Biomedical Engineering, Faculty of Computing, Informatics and Microelectronics of the Technical University of Moldova, which aims to dry the photoresist on the used substrate. The novelty and originality is based on the creation of an energy-efficient device, which will have various additional possibilities that would digitize this technological process, including its control from a graphic interface on a computer. The application value describes the technological stages of designing a device, highlighting the elaborate process of making the printed circuit board for mechanical and electrical components, as well as detailing the design of the case and the development of the associated software. It also involves checking the components and assembly steps of the device on individual components, followed by detailing the tests performed to confirm its proper operation and presenting the final result.