IRTUM – Institutional Repository of the Technical University of Moldova

Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu

Show simple item record

dc.contributor.author CORDUNEANU, Alexandru
dc.date.accessioned 2024-01-04T13:04:55Z
dc.date.available 2024-01-04T13:04:55Z
dc.date.issued 2009
dc.identifier.citation CORDUNEANU, Alexandru. Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu. In: Microelectronics and Computer Science: proc. 6th International Conference, 1-3 Oct. 2009, Chişinău, Republica Moldova, vol. 1, 2009, pp. 203-205. ISBN 978-9975-45-045-4. ISBN 978-9975-45-122-2 (vol. 1). en_US
dc.identifier.isbn 978-9975-45-045-4
dc.identifier.isbn 978-9975-45-122-2
dc.identifier.uri http://repository.utm.md/handle/5014/25712
dc.description.abstract În prezenta lucrare se demonstrează aplicabilitatea litografiei cu sarcina de suprafaţă la arseniura de galiu. Folosind metodologia acestei tehnologii pentru nitrura de galiu s-au obţinut mezastructuri de GaAs cu pereţi bine conturaţi cu înalţime de pînă la 10 micrometri . en_US
dc.language.iso ro en_US
dc.publisher Technical University of Moldova en_US
dc.relation.ispartof Proceeding of the 6th International Conference on "Microelectronics and Computer Science", oct.1-3, 2009, Chişinău, Moldova
dc.rights Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ *
dc.subject nanostructurare en_US
dc.subject arseniura de galiu (GaAs) en_US
dc.subject corodare fotoelectrochimică en_US
dc.title Implementarea litografiei cu sarcină de suprafaţă pentru mezo- şi nanostructurarea arseniurii de galiu en_US
dc.type Article en_US


Files in this item

The following license files are associated with this item:

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States

Search DSpace


Browse

My Account