IRTUM – Institutional Repository of the Technical University of Moldova

Влияние ионной бомбардировки при получении тонких многоуровневых поверхностных слоев

Show simple item record

dc.contributor.author НОВИКОВА, Дарья
dc.contributor.author НАСАКИНА, Елена
dc.contributor.author КАПЛАН, Михаил
dc.contributor.author КОНУШКИН, Сергей
dc.contributor.author СЕРГИЕНКО, Константин
dc.contributor.author СУДАРЧИКОВА, Мария
dc.contributor.author КОЛМАКОВ, Алексей
dc.contributor.author Михаил СЕВОСТЬЯНОВ, Михаил
dc.date.accessioned 2021-06-24T09:43:00Z
dc.date.available 2021-06-24T09:43:00Z
dc.date.issued 2021
dc.identifier.citation НОВИКОВА, Дарья, НАСАКИНА, Елена, КАПЛАН, Михаил et al. Влияние ионной бомбардировки при получении тонких многоуровневых поверхностных слоев. In: Conferinţa Tehnico-Ştiinţifică a a Studenţilor, Masteranzilor şi Doctoranzilor, Universitatea Tehnică a Moldovei, 23-25 martie, 2021. Chişinău, 2021, vol. 1, pp. 537-538. ISBN 978-9975-45-699-9. en_US
dc.identifier.isbn 978-9975-45-699-9
dc.identifier.uri http://repository.utm.md/handle/5014/16258
dc.description.abstract В данной работе представлены результаты исследований закономерности формирования мультислоев титана и тантала при использовании магнетронного распыления и ионной бомбардировки в зависимости от варьируемых технологических параметров, а также определение характеристик полученных материалов. en_US
dc.language.iso ru en_US
dc.publisher Universitatea Tehnică a Moldovei en_US
dc.rights Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States *
dc.rights.uri http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ *
dc.subject мультислои en_US
dc.subject многоуровневые поверхностные слои en_US
dc.subject поверхностные слои en_US
dc.subject слои en_US
dc.subject ионная бомбардировка en_US
dc.subject композиционные материалы en_US
dc.subject магнетронное напыление en_US
dc.subject тантал en_US
dc.subject титан en_US
dc.title Влияние ионной бомбардировки при получении тонких многоуровневых поверхностных слоев en_US
dc.type Article en_US


Files in this item

The following license files are associated with this item:

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record

Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States Except where otherwise noted, this item's license is described as Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States

Search DSpace


Browse

My Account