dc.contributor.author | НОВИКОВА, Дарья | |
dc.contributor.author | НАСАКИНА, Елена | |
dc.contributor.author | КАПЛАН, Михаил | |
dc.contributor.author | КОНУШКИН, Сергей | |
dc.contributor.author | СЕРГИЕНКО, Константин | |
dc.contributor.author | СУДАРЧИКОВА, Мария | |
dc.contributor.author | КОЛМАКОВ, Алексей | |
dc.contributor.author | Михаил СЕВОСТЬЯНОВ, Михаил | |
dc.date.accessioned | 2021-06-24T09:43:00Z | |
dc.date.available | 2021-06-24T09:43:00Z | |
dc.date.issued | 2021 | |
dc.identifier.citation | НОВИКОВА, Дарья, НАСАКИНА, Елена, КАПЛАН, Михаил et al. Влияние ионной бомбардировки при получении тонких многоуровневых поверхностных слоев. In: Conferinţa Tehnico-Ştiinţifică a a Studenţilor, Masteranzilor şi Doctoranzilor, Universitatea Tehnică a Moldovei, 23-25 martie, 2021. Chişinău, 2021, vol. 1, pp. 537-538. ISBN 978-9975-45-699-9. | en_US |
dc.identifier.isbn | 978-9975-45-699-9 | |
dc.identifier.uri | http://repository.utm.md/handle/5014/16258 | |
dc.description.abstract | В данной работе представлены результаты исследований закономерности формирования мультислоев титана и тантала при использовании магнетронного распыления и ионной бомбардировки в зависимости от варьируемых технологических параметров, а также определение характеристик полученных материалов. | en_US |
dc.language.iso | ru | en_US |
dc.publisher | Universitatea Tehnică a Moldovei | en_US |
dc.rights | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 United States | * |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/ | * |
dc.subject | мультислои | en_US |
dc.subject | многоуровневые поверхностные слои | en_US |
dc.subject | поверхностные слои | en_US |
dc.subject | слои | en_US |
dc.subject | ионная бомбардировка | en_US |
dc.subject | композиционные материалы | en_US |
dc.subject | магнетронное напыление | en_US |
dc.subject | тантал | en_US |
dc.subject | титан | en_US |
dc.title | Влияние ионной бомбардировки при получении тонких многоуровневых поверхностных слоев | en_US |
dc.type | Article | en_US |
The following license files are associated with this item: