МЕШАЛКИН, А. Ю.; АНДРИЕШ, И. С.; АБАШКИН, В. Г.; ПРИСАКАР, А. М.; ТРИДУХ, Г. М.; АКИМОВА, Е. А.; ЕНАКИ, М. А.
(Institute of Applied Physics, Academy of Sciences of Moldova, Chisinau, Republic of Moldova, 2012)
Используя цифровую обработку результатов измерений, расширены измерительные возможности микроинтерферометра МИИ-4 на область нанометровой толщины пленок. Модернизированный микроинтерферометр с адаптированной веб-камерой ...